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获1996-2000年度香港求是杰出青年学者奖、刚刚狗2005年国家自然科学二等奖（排名第三）、2012年获何梁何利科技进步奖和2015年周光召基金会基础科学奖。

第一步穿孔通常在较大离子束入射角（Theta，北宝上比如5度-7度，两个离子枪可以一正一负角度进行配置，也可同为正角度配置）下进行。修整完薄区后还应该利用更低的离子束能量（低于修整能量），京朝对样品表面再进行适当的修整，去除前步减薄过程对样品表面造成的损伤。

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